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洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度的分级
洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度的分级
标准号
ANSI/IEST/ISO 14644-1-1999
标准名称
洁净室和相关控制环境.第1部分:空气清洁度的分级
标准状态
替代标准号(新)
被替代标准号(旧)
标准页数
发布日期
实施日期
采用标准
中文标准分类号
N64
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