洁净室和相关控制环境.第2部分:证明持续符合 IEST/ISO 14644-1-1999要求的试验和监测规范

标准号 ANSI/IEST/ISO 14644-2-2000
标准名称 洁净室和相关控制环境.第2部分:证明持续符合 IEST/ISO 14644-1-1999要求的试验和监测规范
标准状态 替代标准号(新)
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发布日期 实施日期
采用标准 中文标准分类号 N64
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